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Precision Actuators & Translators | Prior Scientific
NPS-Z-500B
Queensgate’s piezo flexure actuators generate small, precise movements very quickly and with high repeatability.
產品特色
FEATURES >> Prior queensgate NPS-Z-500B
Long Range 500 Micron Amplified Actuator
- 在 80K 超高真空（UHV）環境下，具備 100 μm 閉迴路位移
- 高度平行運動，偏軸偏差最小
- <1 nm 位置噪聲，線性誤差 0.01%，剩餘滯後 0.02%
- 可定制包裝，提供真空和低溫版本
產品介紹
Product Introduction >> Prior queensgate NPS-Z-500B
NPS-Z-500B-UHV 提供超過 100 µm 的全行程範圍，可在 80K 和超高真空（UHV）環境下運行
該平台設計為閉迴路模式，使用電容式位置感測器進行操作。其先進的柔性結構設計使該設備具備卓越的線性度、解析度、重複性、剛性和穩定性。
低偏軸誤差和高共振頻率進一步提升了這種先進設計的性能。
建議控制器
NPC-D-6110
產品規格
SPECIFICATIONS >> Prior queensgate NPS-Z-500B
| Model | NPS-Z-500B | NPS-Z-500B-UHV |
|---|---|---|
| Axis | Z | Z |
| Range | 550um | 550um |
| Position noise | 1nm | 1nm |
| Repeatability | ||
| Linearity | 0.02% | 0.02% |
| Step Settle | 15ms | 15ms |
| Material | Aluminum/ Titanium | Aluminum/ Titanium |
| Size (L x W x H) | 60mm x 49.5mm x 30mm | 60mm x 49.5mm x 30mm |
產品資源
RESOURCE >> Prior queensgate NPS-Z-500B中惠科技有限公司
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