真空相容產品

用於超高真空（UHV）環境的產品材料選擇與準備

 設計用於 UHV 環境的產品需要謹慎選擇材料並進行準備。這些產品不僅需要能在真空中有效運作，還可能需要承受冷凍溫度或輻射。

• 適當的材料選擇（例如耐輻射元件）和準確的準備過程是關鍵。 

• 超音波清潔可移除零件金屬上的油脂和碳殘留。

• 建議在使用前進行烘烤程序，以去除任何溶劑殘留物。 

感測器

NX NanoSensor® 的 UHV 變體：適用於超高精度奈米定位應用的壓電平台，例如硬碟檢測、干涉測量、鏡子定位和高精度顯微鏡學。

NC NanoSensor® ：是專為 UHV 環境開發的新系列高解析度電容感測器，適用於 10^-10 Torr 的真空環境。其陶瓷-金結構消除了所有膠黏劑，允許在更高溫度下烘烤，適用於高輻射環境。 

閉迴路致動器

 DPT-E-UHV 系列致動器，該系列致動器配備電容反饋控制，實現精確定位。其高熱穩定性與超級因瓦合金結構提供了卓越的定位穩定性，並兼容 10^-9 Torr 的 UHV 環境。

平臺

 Queensgate 提供真空相容版本的柔性導引壓電致動平臺，並採用 Kapton 配線組裝。這些平臺可用於實現光學元件的亞奈米級精確定位。如果您在高真空應用中需要奈米定位解決方案，請聯繫我們。