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02-89924292 / 台北
NPS-XYP-250Q
產品特色
FEATURES >> Prior queensgate NPS-XYP-250Q
300 mm Wafer-Mask Alignment Stage
- 行程範圍：
- X, Y 軸：250 µm
- 偏航角：250 µrad
- 材料：
- 機體：鋁
- 結構：不銹鋼與鈦
- 高真空相容性:可操作於 10⁻⁷ Torr 的高真空環境
- 工作溫度:可達 50 °C
- 孔徑:350 mm
- 負載能力:超過 10 kg
- 重量:31.5 kg
- 尺寸:600 x 600 x 60 mm
- 穩定性:在 60 秒內 < 1.5 nm (rms)
產品介紹
Product Introduction >> Prior queensgate NPS-XYP-250Q
NPS-XYP-250Q 奈米定位平台在 300 mm 製造流程中，為晶圓掩膜提供高精度與高穩定性的定位。
該平台提供 X、Y 軸各 250 µm 的移動範圍，並具備 250 µrad 的偏航（Yaw/φ 或 θz）旋轉能力。它擁有極大的 350 mm 孔徑和超過 10 公斤的承載能力。
高真空和高溫操作能力，使其適用於光罩製造和晶圓生產的廣泛應用，包括蒸鍍系統等。
產品資源
RESOURCE >> Prior queensgate NPS-XYP-250QVAT Number：28376870
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