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DPT-E 閉迴路壓電致動器
產品介紹
OUTLINE >> DPT-E
DPT-E 高精度奈米級致動器，專為精密定位(Nanopositioning)設計，搭載電容回饋控制(Capacitive Feedback Control)，確保極高的定位精度與可重複性。
DPT-E 系列致動器可與NanoScan NPC-D-6000或NPC-D-5200數位閉環控制器配合使用，能滿足最嚴苛的應用需求。
該致動器可承載高達 60 kg的負載，並在110 μm 行程範圍內實現高線性與低電子雜訊，確保運行時具備高精度、快速響應與穩定定位能力。
DPT-E 採用超級因瓦合金(Super Invar)製造，提供卓越的熱穩定性，大幅降低熱漂移影響。此款致動器為 DPT-C 高壓版本的直接替代款，行程範圍較 DPT-C 型號增加至少 25%，並進行了多項性能提升。
此外，DPT-E 提供多種特殊環境相容選項，包括超高真空 (UHV) 標準版本，以及適用於高溫、非磁性與輻射環境的客製化型號。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> [Product Name]- 閉迴路行程範圍從 20μm 至 110μm
- 預載式 Super Invar 結構
- 電容感測器回授控制
- 高阻擋力
- 即插即用互換性
- 無摩擦定位，實現亞奈米級重複性
- 提供 UHV、耐輻射 / 低溫非磁性及高溫版本
產品規格
SPECIFICATIONS >> Prior queensgate DPT-E
| Model | DPT-E-020 | DPT-E-050 | DPT-E110 |
|---|---|---|---|
| Axis | Z | Z | Z |
| Range | 20 µm | 50 µm | 110 µm |
| Position noise | 0.09 nm | 0.12 nm | 0.15 nm |
| Repeatability | 0.5 nm | 0.6 nm | 0.8 nm |
| Linearity | 0.03% | 0.03% | 0.03% |
| Step Settle | 2 ms | 2.5 ms | 3 ms |
| Material | Super Invar/ Stainless Steel | Super Invar/ Stainless Steel | Super Invar/ Stainless Steel |
| Size (L x W x H) | 44.2 mm x 20 mm | 76.7 mm x 20 mm | 127.8 mm x 20 mm |
產品資源
RESOURCE >> Prior Queensgate DPT-EVAT Number：28376870
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