Specialist Stages and OEM Solutions | Prior Scientific
NPS-Z-90Q
We have built our business on developing high-precision
產品特色
FEATURES >> Prior queensgate NPS-Z-90Q
Super-Heavy Objective Positioner
- Z 軸行程:高達 100 µm
- 傾斜/旋轉角度:高達 0.4 mrad
行程範圍:
- 通光孔徑:>100 mm
- 承載能力:8 公斤
- 材料:不銹鋼和鈦合金
- 尺寸:直徑 Ø165 x 高 70 mm
- 快速步進穩定:1 µm(±40 nm)步進,穩定時間 <10 毫秒
產品介紹
Product Introduction >> Prior queensgate NPS-Z-90Q
NPS-Z-90Q 是為實現高動態定位而設計的,可用於承載質量高達 8 公斤的大型目標和光學設備。
此平台具有超過 100 毫米的孔徑以及 100 微米的行程範圍。它可以配置為純粹的 Z 軸定位,或者作為三軸 Z/傾斜系統,用於對負載進行主動對齊。
該平台在最大負載下能夠實現 1 微米步進的≤10 毫秒的步進穩定時間,因此非常適合在半導體製造、測試和檢測以及大規模科學項目中的目標或其他光學應用。