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Queensgate Nanopositioning Devices & Sensors | Prior
Prior OP400 納米定位壓電物鏡掃描儀
Nanopositioning Piezo Objective Scanner
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- 400μm 閉迴路行程範圍（480μm開迴路範圍）
- 電容式定位傳感器可提供奈米級的定位分辨率和可重現性
- 由不銹鋼製成，具有更高的機械剛性（更快）和溫度穩定性（低漂移）
- 平台是彎曲導向設計。無摩擦以提供高剛度，並最小化離軸運動，從而提供高重複性和更快的循環時間
- 適用於立式和倒立應用
- 具有內置平台校準的連接器提供隨插即用電子設備，可以互換使用，從而減少了系統停機時間。
- 即使在較大的負載下也能夠快速設定，經過測試可運行超過1千萬個週期
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| 產品說明 |
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The NanoScan OP400 奈米定位壓電物鏡掃描儀提供了任何可用的物鏡定位器中最快的步進和穩定時間。
結合電容式反饋傳感器，它還具有市場領先的定位精度和分辨率。該系統與大多數顯微鏡和物鏡兼容，具有用戶可配置的設置，可針對不同的物鏡尺寸、重量和性能需求進行優化。用戶只需為其應用選擇最佳設置即可。
應用領域
- 產生3D光學剖切影像
- 用於延時成像的自動對焦系統
- 高含量篩選
- 表面分析
- 晶圓檢驗
- 掃描干涉儀
技術規格 - NanoScan OP400 Positioner
| Parameter |
Specification |
| Material |
Stainless Steel |
| Closed Loop Range |
400µm |
| Resolution* |
0.7 nm under 150g load |
| Linearity* |
0.005% |
| Repeatability |
1.6 nm Slow PID, 50µm step, 1SD |
| Max Objective Load |
1000g |
| Loaded Resonant Frequency* |
180Hz under 150g load |
| 5% Settle 0.5µm Step 150g/250g/500g Load* |
7ms / 10ms / 18ms |
| 0.5% (500nm) Settle 100µm Step 150g/250g/500g Load* |
30ms / 35ms / 45ms |
| Cable Length |
2m |
| Objective Clearance |
40mm |
| Optical Path Length Extension |
13mm 12mm with M32 |
| Environment - Operational |
| Temperature |
21 +/-3°C (as standard) |
| Relative Humidity |
0-60% |
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| 外觀尺寸 |
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| 產品資訊 |
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