WDIS 晶圓定位及瑕疪檢測系統

產品應用簡介

WMIS晶圓定位及瑕疵檢測系統專為半導體廠晶圓目視檢查需求所開發的系統，整合Wafer Mapping定位軟體、晶圓檢查專用光學顯微鏡、Wafer Loader與Prior Wafer Shuttle自動載物台，適用於 4 / 6 / 8 / 12吋晶圓即時瑕疵檢測。

WMIS可讀取客戶的Wafer Map，完成與實際Wafer的座標定位對應，並提供預覽影像，操作者可在螢幕上即時觀察每一個Die有無Defect或Particle，並可針對Die的狀況進行Defect Code或Bin Code的定義，於Wafer Map上以顏色呈現Bin Color。預覽影像提供拍照存檔功能，存檔名稱可自行定義，如Die的位置與瑕疵定義等。

產品功能特色

Wafer Mapping & Inspection Function

• 讀取Wafer Map文字檔相關資訊，即時產生對應Wafer Map。
• 手動三點定位，定位簡易快速，誤差小，可修正Wafer實際角度與位置偏差。
• 可自定義多點檢測位置，如已公式計算多點檢測位置，或自行設定固定檢測位置。
• 可自行定義Defect類別，Defect分類可以顏色呈現。
• 可依每個Die的檢測狀況，選擇Defect進行標記，並以顏色於Wafer Map呈現，方便檢視與分辨，檢測結果可記錄於資料庫或Wafer Map。
• 可將瑕疵狀況進行拍照存檔，存檔名稱可自行定義，如Die的位置加上瑕疵定義。
• 可根據客戶需求，整合客戶端資料庫，將分析與檢測結果存入資料庫。
  
  

Measurement Function

• 提供多組比例尺建立，使用者可根據顯微鏡物鏡建立對應比例尺，並可於影像上標註比例尺。
• 提供量測直線、角度、面積等多種量測工具。
• 提供進階量測功能，如點到線距離、點到圓距離、線到圓距離等。
• 可於影像上進行標記或註解。
• 提供影像縮放功能、方便觀察檢測。
• 即時觀測影像畫面，減少檢測者於顯微鏡上觀測的疲勞度，並可顯示十字線，方便檢測與對位。
• 影像拍照存檔成多種格式，如Tiff、JPEG等。
• 量測結果可匯出至文字檔或Excel報表。
• 提供Time Lapse影像拍照功能，可設定拍照建隔時間與張數。
  
  
  

硬體規格

Motorized Stage for 4" / 6” / 8" / 12” Wafer Plate

* Stage Platform

1. Stage Plate fit for 8” Wafer
2. Stage movement on X-Y travel range:
   X: 255 mm , Y: 215 mm (10” x 8.5”)
3. Resolution: minimum step size of the stage is 0.1 um
4. Repeatability: +/- 4um open loop
5. Accuracy: +/- 8um 
6. Speed: 60 mm/sec maximum 
7. Stage shuttle movement to Wafer Auto
   Loader(NWL860), trigger loader to 
   load/unload 8” wafer into microscope

* Wafer Stage Control unit

1. Plus shuttle (includes vacuum switch)
2. Computer control interface port
   Between computer and Stage 
3. Use RS232C communication protocol.
   
   * Joy Stick : 3 Axis control joy stick