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ProScan Motorized Stage System for Upright Microscope | Prior Scientific
ProScan H112 電動平台 (12" Wafer)
XY Axis Large Format Motorized Wafer Stage For High Precision Microscope Automation
產品介紹
INTRODUCTION >> PRIOR H112
H112顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料，如晶圓、光罩、平面顯示器(FPD)和印刷電路板(PCB)等，提供高精度的定位、檢查與瑕疪檢測。
平台可支持12英寸晶圓的移動，並可與機器人手臂和晶圓裝載機整合，實現晶圓自動化取放。對於需要透射光的檢查，平台提供250 mm x 250 mm的透射光開口區域。
將平台整合到ProScan™系統中，使用者可獲得強大、精確的顯微鏡自動化控制系統，並支持與各種顯微鏡、影像分析軟體及其他電控配件的整合。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> PRIOR H112- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 可選配0.1µm高精度線性光學尺(Linear Scales)
- 移動行程範圍為 302 mm x 302 mm (12" x 12")
- 各式晶圓專用置具(Wafer Holder)供您選用
產品規格
SPECIFICATIONS >> PRIOR H112| 零件編號 Part Number |
H112/2 | HE12/2 |
|---|---|---|
| 單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability |
±0.7 µm | |
| 最小寸動精度 Minumum Step Size |
0.04 µm | 0.1 µm |
| 建議速度 Suggested Speed |
40 mm/s | |
| 最大行程範圍 Max Travel Range |
302 mm x 302 mm | |
| 滾珠螺桿螺距 Ball Screw Pitch |
2 mm | |
| 編碼器 Encoders |
N/A | 0.1 µm res |
| 最大載重 Load Capacity |
25 kg | |
| 重量 Weight |
14.5 kg | |
產品尺寸
DIMENSIONS >> PRIOR H112
產品資源
RESOURCE >> PRIOR H112中惠科技有限公司
統一編號：28376870
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