NPS-XY-100D

產品服務專線：04-27080265 / 台中
02-89924292 / 台北

產品介紹

INTRODUCTION >> NPS-XY-100D

NPS-XY-100D 奈米級雙軸定位平台採用壓電掃描與彈性導引(Piezo Scanned Flexure Guided)設計，內建電容式位置感測器(Capacitive Position Sensors)，具備次奈米解析度(Sub-Nanometer Resolution)與可重複性。

經有限元素分析(FEA)優化的彈性導引機構，可將寄生角運動抑制至小於25微弧度(<25 μrad)，確保高純度的運動精度。獨特的等靜態安裝系統(Isostatic Mounting System)能有效釋放安裝應力，並以平台中心作為坐標參考點。

NPS-XY-100D 採用鋁合金(Aluminum)材質，提供 XY-100 系列中最佳解析度與最快的動態響應，同時具備高性價比。其四角安裝設計(4 Corner Mounting)允許簡單安裝，適用於多種應用環境。

Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)

產品特色

FEATURES >> NPS-XY-100D

每個軸的行程可達 100 微米以上，具有亞奈米級解析度
遲滯與線性誤差小於 0.005%
第一共振頻率超過 350Hz（NPS-XY-100A）、500Hz（NPS-XY-100B）、650Hz（NPS-XY-100D）
高頻寬（超過 50Hz）與快速響應時間
in-situ 掃描與步進響應最佳化
可與 NPS-Z-15A 或 NPS-Z-15H 搭配使用，以支援 XYZ 配置
採用 Super Invar（NPS-XY-100A）、鋁合金（NPS-XY-100B）或鋁材（NPS-XY-100BD）結構

應用領域

APPLICATIONS >> NanoScan OP400

高精度顯微鏡
原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(SPM)、近場掃描光學顯微鏡(NSOM)

產品規格

SPECIFICATIONS >> Prior NPS-X-28C

Model	NPS-XY-100D
Axis	X, Y
Range	100 μm XY
Position noise	0.14 nm XY
Repeatability	0.5nm XYZ
Linearity	0.003%
Step Settle	4ms
Material	Aluminum
Size (L x W x H)	100 mm x 100 mm x 23 mm