NPS-XY-100A

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產品介紹

INTRODUCTION >> NPS-XY-100A

NPS-XY-100A 奈米級雙軸定位平台採用壓電掃描與彈性導引(Piezo Scanned Flexure Guided)設計，內建電容式位置感測器(Capacitive Position Sensors)，具備次奈米解析度(Sub-Nanometer Resolution)與可重複性。

經有限元素分析(FEA)優化的彈性導引機構，可將寄生角運動抑制至小於25微弧度(<25 μrad)，確保高純度的運動精度。獨特的等靜態安裝系統(Isostatic Mounting System)能有效釋放安裝應力，並以平台中心作為坐標參考點。

NPS-XY-100A 採用Super Invar材質(COE 0.3 ppm/K)，可將熱漂移降至極低，確保長時間運行時仍維持穩定的奈米級定位精度。此外，透過三點運動學安裝(3-Point Kinematic Mounts)，進一步提升系統的安定性與精確度。

Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)

產品特色

FEATURES >> NPS-XY-100A

每個軸的行程達 100 微米，具有亞奈米級解析度
遲滯與線性誤差小於 0.005%
第一共振頻率超過 350Hz（NPS-XY-100A）、500Hz（NPS-XY-100B）、650Hz（NPS-XY-100D）
高頻寬（超過 50Hz）與快速響應時間
原位掃描與步進響應優化
可與 NPS-Z-15A 或 NPS-Z-15H 搭配使用，支援 XYZ 配置
採用 Super Invar（NPS-XY-100A）、鋁合金（NPS-XY-100B）或鋁材（NPS-XY-100BD）結構

應用領域

APPLICATIONS >> NanoScan OP400

高精度顯微鏡
原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(SPM)、近場掃描光學顯微鏡(NSOM)

產品規格

SPECIFICATIONS >> Prior NPS-XY-100A

Model	NPS-XY-100A	NPS-XY-100A-UHV
Axis	X,Y	X, Y
Range	110 µm XY	110 µm XY
Position noise	0.2 nm	0.25 nm
Repeatability	0.6 nm	0.75 nm
Linearity	0.005%	0.010%
Step Settle	15 ms	15 ms
Material	Super Invar	Super Invar
Size (L x W x H)	100 mm x 100 mm x 23 mm	100 mm x 100 mm x 23 mm