ProScan H101A 電動平台

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產品介紹

INTRODUCTION >> PRIOR H101A

Prior ProScan™系列的 H101A 顯微鏡電動載物平台可安裝於各式正立顯微鏡或光學系統，高精度的定位精度，支持自動掃描並儲存座標點，提升實驗效率。

此平台適用於玻片、微量滴定盤、半導體晶圓或金相樣品，可進行弓字形、之字形或隨機掃描。

H101A電動平台配備專利的智慧掃描技術(IST)，確保出廠前進行精度校驗和運作測試，確保最佳性能和精度。

智慧掃描技術（IST）可調整參數，確保X軸和Y軸的直角度和精確度。（此技術同樣適用於H107和H117倒立顯微鏡的電動平台型號）

Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)

FEATURES >> PRIOR H101A

SPECIFICATIONS >> PRIOR H101A

零件編號 Part Number	H101A	HE01A	H1P1A	HEP1A	H1P4A	HEP4A
移動行程 Travel Range	114 mm x 75 mm
單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability	< 0.6 μm		-
雙向重覆性精度 Bidirectional Repeatability	< 2.9 μm	< 1.0 μm	-
XY重複性精度 XY Repeatability	-		0.7 µm
線性精度 Metric Accuracy	0.12 μm/mm	0.11 μm/mm	-
全行程線性精度 Full Travel Metric Accuracy	<12.0 µm	<9.0 µm	-
解析度 Resolution	0.04 µm	0.1 µm	0.01 µm
垂直度 Squareness	< 30 arcsec
最大移動速度 Maximum Velocity	60 mm/s		-
最大荷重 Maximum Load	10 kg
編碼器 Encoders	N/A	0.1 µm res	N/A	0.1 µm res	N/A	0.1 µm res
馬達類別 Motor Type	200 step				400 step
螺距 Screw Pitch	2 mm		1 mm
重量 Weight	3.5 kg