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Queensgate Nanopositioning Devices & Sensors | Prior

Prior NPS2100-20/NPS2101 控制器

Sub-nanometer position resolution

 

Prior-NPS2101
  • 奈米等級分辨率
  • 線性誤差低至0.02%
  • 可調式頻寬(50Hz,500Hz或5kHz)
  • 可調式放大器增益(適用於未測量整個測量範圍的應用)
  • 可選擇長('-L')或短('-S')測量範圍(2pF或10pF電容)
產品說明

NPS2101和NPS2100-20是NanoSensor高電壓放大器和控制電子設備,組合為一個單通道獨立模組,由外部±15V,130V和-30V直流電源供電。

用於提供Y鏡轉向系統的閉環位置控制,該機構集成了Queensgate壓電執行器(MTP-15N)和傳感器(NXB-3-Al)。

與開環操作相比,控制電子設備允許用戶優化閉環響應,從而顯著提高穩定性和線性度。NPS-2100-20帶有-20V輸入。NPS-2101具有正電壓輸入和負電壓輸入。

技術規格
Parameter Value Units Comments
Static physical
Size (Width x Depth x Height) 218 x 77 x 34 mm
Power supply

±15 ±1 @120mA 

+120 to +130 @ 30mA

-32 to -27 @ 30mA

VDC Note 1
Sensor output -5 to +5 V Note 2
Analogue input range -10 to +10 V
Digital input D/A resolution 14 Bits
NanoSensor Dynamic physical (Typical values)
Scale factor 0.1 or 0.01 GV -1 Note 3
Noise level (-S) (2100 / 2100-20) <0.03 ppmHz- 1/2 rms Note 4
Noise level (-L) (2100 / 2100-20) <0.15  ppmHz- 1/2 rms Note 4
Thermal drift 5 ppmK-1 Typ Note 4
Warm-up time 10 Minutes
Warm-up drift 80 ppm Note 4
PS rejection 10 ppmV-1 Note 4
Linearity error <0.2 % Note 5
Bandwidth 50, 500, 5000 ±10%  Hz Note 6
HV Amplifier Dynamic physical (Typical values)
Output voltage (2100) 0 to +120 V
Output voltage (2100-20 / 2101) -20 to +120  V
Bandwidth 5 KHz Note 7
Analogue input gain 6 V/V Note 8
Digital input gain 7.3 m V/bit Note 8
Noise 0.2 mVrms Note 9
Current limit 50 mA

產品資訊

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