系統由多種自動控制部分組成。包括:自動光學顯微鏡、3軸電動台 (支援多種高精度電動台)、電動轉盤控制器、自動拍照系統、全自動清潔度分析軟體等。

全自動的檢驗分析過程:使用者設定掃描視場、系統自動掃描整個視場、自動拍照、夾雜物自動識別、自動分類、自動評級、最後生成專業分析報告。

支援多種掃描方式：矩形區域、圓形區域、環形區域、扇形區域等；滿足各種不同標準、不同使用者的檢測需要，大大提高工作效率。

支援多種對焦模式：補償對焦、跟蹤對焦、手動對焦、EFI對焦等。採用最新的對焦演算法,確保在試樣不夠平整的情況下也能得到清晰的圖像。

採集過程自動拍照、照片自動保存,進度狀態即時可見;照片資訊存入資料庫,方便查詢;提供视场图片浏览功能，可以实现视场定位回溯、重新拍照等功能。

支援多種國內及國際標準:包括GB/T 10561、ISO 4967、JIS G 0555、ASTM E 45、BS EN 10247、GB/T 18254、DIN 50 602等;支援標準中的提到的多種處理方法,A~E法、K法、M法、P法等。系統定期更新最新夾雜物標準。

系統自動識別夾雜物、自動分析及雜物類別(分別用不同顏色標出)、自動統計顆粒參數。同時支援夾雜物顆粒修改。提供多種統計分析工具:MAP圖、夾雜物顆粒清單、夾雜物統計結果、長條圖等; 同時支援夾雜物跨視野分析。

專業的夾雜物評級報告,包含各個類別的夾雜物評級,根據不同標準生成對應的專業報告;支援報告的個性化設計。