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02-89924292 / 台北
ProScan H116 電動平台 (8" Wafer)
產品介紹
INTRODUCTION >> PRIOR H116
ProScan H116顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料如晶圓(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面顯示器(FPD, Flat Panel Displays)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品的定位(Mapping)、檢查(Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階半導體材料的座標跑位、定位與掃瞄應用。
此外，H116顯微鏡電動平台可輕鬆滿足12英寸（300毫米）晶圓的移動行程需求，並可進一步整合機器人手臂(Robot Arm)與晶圓裝載機(Wafer Loaders)達成晶圓自動化取放片的工作目標。
通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> PRIOR H116- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 移動行程範圍為 255 mm x 215 mm (10" x 8.5")
- 各式晶圓專用置具(Wafer Holder)供您選用
產品規格
SPECIFICATIONS >> PRIOR H116| 零件編號 Part Number |
H116/2 | HE16/2 |
|---|---|---|
| 移動行程 Travel Range |
255 mm x 215 mm | |
| 單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability |
± 0.7 µm | |
| 解析度 Resolution |
0.04 µm | 0.01 µm |
| 建議速度 Suggested Speed (mm/s) |
40 mm/s | |
| 最大荷重 Maximum Load |
25 kg | |
| 重量 Weight |
7.7 kg | |
| 螺距 Screw Pitch |
2 mm | |
| 馬達類別 Motor Type |
200 step | |
| 編碼器 Encoders |
N/A | 0.1 µm res |
- 規格如上表所示，詳細資訊請參閱規格說明書
產品尺寸
DIMENSIONS >> PRIOR H116
產品資源
RESOURCE >> PRIOR H116VAT Number：28376870
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