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NPS-XY-100A
產品介紹
INTRODUCTION >> NPS-XY-100A
NPS-XY-100A 奈米級雙軸定位平台採用壓電掃描與彈性導引(Piezo Scanned Flexure Guided)設計，內建電容式位置感測器(Capacitive Position Sensors)，具備次奈米解析度(Sub-Nanometer Resolution)與可重複性。
經有限元素分析(FEA)優化的彈性導引機構，可將寄生角運動抑制至小於25微弧度(<25 μrad)，確保高純度的運動精度。獨特的等靜態安裝系統(Isostatic Mounting System)能有效釋放安裝應力，並以平台中心作為坐標參考點。
NPS-XY-100A 採用Super Invar材質(COE 0.3 ppm/K)，可將熱漂移降至極低，確保長時間運行時仍維持穩定的奈米級定位精度。此外，透過三點運動學安裝(3-Point Kinematic Mounts)，進一步提升系統的安定性與精確度。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> NPS-XY-100A- 每個軸的行程達 100 微米，具有亞奈米級解析度
- 遲滯與線性誤差小於 0.005%
- 第一共振頻率超過 350Hz（NPS-XY-100A）、500Hz（NPS-XY-100B）、650Hz（NPS-XY-100D）
- 高頻寬（超過 50Hz）與快速響應時間
- 原位掃描與步進響應優化
- 可與 NPS-Z-15A 或 NPS-Z-15H 搭配使用，支援 XYZ 配置
- 採用 Super Invar（NPS-XY-100A）、鋁合金（NPS-XY-100B）或鋁材（NPS-XY-100BD）結構
應用領域
APPLICATIONS >> NanoScan OP400
-
高精度顯微鏡
-
原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(SPM)、近場掃描光學顯微鏡(NSOM)
產品規格
SPECIFICATIONS >> Prior NPS-XY-100A
| Model | NPS-XY-100A | NPS-XY-100A-UHV |
|---|---|---|
| Axis | X,Y | X, Y |
| Range | 110 µm XY | 110 µm XY |
| Position noise | 0.2 nm | 0.25 nm |
| Repeatability | 0.6 nm | 0.75 nm |
| Linearity | 0.005% | 0.010% |
| Step Settle | 15 ms | 15 ms |
| Material | Super Invar | Super Invar |
| Size (L x W x H) | 100 mm x 100 mm x 23 mm | 100 mm x 100 mm x 23 mm |
產品資源
RESOURCE >> PRIOR NPS-XY-100AVAT Number: 28376870
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