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02-89924292 / 台北
NPS-Z-90Q
產品介紹
INTRODUCTION >> NPS-Z-90Q
NPS-Z-90Q 超重型目鏡定位平台，專為高動態應用設計，能夠精確定位大型目鏡與光學元件，最大負載可達8 kg。
該平台擁有超過 100 mm 的大孔徑，並提供100 µm 的 Z 軸行程，適用於高精度目鏡定位需求。
可配置為純 Z 軸定位模式，或擴展為3 軸 Z/傾斜/旋轉 (Z/Tip/Tilt) 系統，以支援更精細的主動對位 (Active Alignment)。
該平台能夠在1µm 步進範圍內實現 ≤10ms 的快速穩定時間，確保高負載下的快速精準調整，使其成為半導體製造、測試與檢測，以及大型科學研究項目的理想選擇。
Prior 奈米級平台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> NPS-Z-90Q- Z 軸行程可達 100µm
- 傾斜/旋轉（Tip/Tilt）可達 0.4 mrad
- 透光孔徑大於 100mm
- 負載能力達 8kg
- 材料：不鏽鋼與鈦合金
- 尺寸：Ø165 x 70 mm
- 快速步進穩定：對 1µm（±40nm）位移，穩定時間小於 10ms
產品資源
RESOURCE >> NPS-Z-90QVAT Number：28376870
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