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02-89924292 / 台北
ProScan H116SPN 電動平台 (8" Wafer)
產品介紹
INTRODUCTION >> PRIOR H116SPN
Prior H116SPN 電動平台提供Wafer Shuttle行程控制，採電動穿梭式(Motorised Shuttle)設計，用於整合Nikon或Olympus晶圓裝卸系統(Wafer Handler System)進行晶圓檢測應用，可大幅減少操作員的連續操作疲勞和可能造成的定位誤差，同時提高了晶圓檢查的效率。
H116SPN 電動載台在與Wafer Loader進行自動加載和卸載晶圓(Loads and Unloads Wafers)的操作時，Wafer Shuttle會自動移動到正確的晶圓裝載位置並觸發裝載器(Loader)開關，同時通知裝載器在Shuttle上的Wafer Chuck已經到達指定位置並準備好接收晶圓，待晶圓從Wafer Loader轉移到Wafer Shuttle後，Wafer Chuck上的真空感應器會確認晶圓是否已放置妥當，確認沒問題後Shuttle會立即移動到預設原點位置，等待下一步的控制指令。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> PRIOR H116SPN- 移動行程範圍為 250 mm x 210 mm
- 解析精度(Resolution)為 0.04 µm
- 重複性(Repeatability)為 ±0.2μm
- 整合晶圓自動加/卸載系統 (Wafer Load & Unload)
- 相容於 ProScan III系統，以及 Nikon 和 Olympus 晶圓裝卸系統(wafer Handling Systems)
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
產品規格
SPECIFICATIONS >> PRIOR H116SPN| 零件編號 Part Number |
H116SPN |
|---|---|
| 移動行程 Travel Range |
250 mm x 210 mm |
| 單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability |
± 0.2 μm |
| 雙向重覆性精度 Bidirectional Repeatability |
± 1.3 μm |
| 解析度 Resolution |
0.04 μm |
| 建議速度 Suggested Speed |
40 mm/s |
| 編碼器 Encoders |
N/A |
| 馬達類別 Motor Type |
200 step |
| 螺距 Screw Pitch |
2 mm |
| 重量 Weight |
9 kg |
- 規格如上表所示，詳細資訊請參閱規格說明書
產品尺寸
DIMENSIONS >> PRIOR H116SPN
產品資源
RESOURCE >> PRIOR H116SPNVAT Number：28376870
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