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02-89924292 / 台北
NPS-Z-15L 超高負載閉迴路壓電致動器
產品簡介
INTRODUCTION >> NPS-Z-15L
NPS-Z-15L 高負載奈米級 Z 軸平台，專為高負載應用優化，具備15μm 閉迴路行程，並擁有次奈米解析度與穩定性。
該平台採用高剛性結構(High Stiffness Design)，可承載高達 500Kg 的負載，適用於大型光學元件、晶圓與光罩裝置的對位與調整應用。
經優化的機械設計使其在無負載狀態下的共振頻率超過 8000Hz，確保高頻動態穩定性，並具備極高的抗環境干擾能力。
NPS-Z-15L 採用Super Invar 材質製造，提供卓越的熱穩定性與環境穩定性，適用於長時間高精度運行需求。
透過閉迴路 PID 控制電子元件(Closed Loop PID Electronics)，可最大化原位步進響應(In-Situ Stepping Response)與位置穩定性，確保系統長時間運作的可靠性。
電子控制系統可支援3 軸或 6 軸獨立控制，適用於高精度對位、水平調整與大型元件校正應用。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> [Product Name]- 行程超過 15μm，具有亞奈米級解析度
- 通常遲滯(hysteresis)小於 0.002%，線性誤差低於 0.01%
- 第一共振頻率超過 8kHz
- 最大負載可達 500Kg
- 堅固耐用
- 採用 Super Invar 結構
產品規格
SPECIFICATIONS >> Prior queensgate NPS-Z-15L
| Model | NPS-Z-15L |
|---|---|
| Axis | Z |
| Range | 20 µm |
| Position noise | 0.1nm |
| Repeatability | 0.3nm |
| Linearity | 0.01% |
| Step Settle | 1ms |
| Material | Super Invar |
| Size (L x W x H) | 53.5mm x 60mm |
產品資源
RESOURCE >> Prior Queensgate NPS-Z-15LVAT Number：28376870
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