Select your language
02-89924292 / 台北
ProScan H105F 電動平台 (6" Wafer)
產品介紹
INTRODUCTION >> PRIOR H105F
H105F電動平台採平頂式(Flat Top)設計為ProScan®高精度電動平台系列產品的家族成員，適用於正立顯微鏡(Upright Microscopes)光學系統的觀察與座標定位需求，此外H105F電動載台擁有較大的移動行程和定位精度並提供各種可置換的樣品置具
可滿足半導體晶圓(Semi-Conductor Wafer)、光罩(Photo Mask)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品對於晶圓定位(Wafer Mapping)、目視檢查(Visual Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階的半導體材料科學應用。
平頂式的電動平台擴大了載台上方的使用空間並減少光學組件設置的阻礙，輕鬆整合高N/A值物鏡(Objective)或聚光鏡(Condenser)等光學組件進行高倍率的顯微觀察，讓顯微鏡上的鼻輪組可以輕鬆的360度旋轉切換觀察物鏡並且避免碰撞的危險，安全的切換觀察物鏡和調整顯微鏡對焦高度，提供顯微鏡自動化整合更精確和便捷的強大組合利器。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> PRIOR H105F- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 單向重複性精度(Uni Directional Repeatability)可達 ±0.7µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 可選配線性光學尺(Linear Encoders)
- 移動行程範圍為 154 mm x 154 mm
- 俱備防間隙誤差機制(Anti-backlash mechanism)和可調式限位開關(adjustable limit switches)
- 通用的樣品夾置具(Sample Holder)，有多種樣式可選擇
- 專利智慧掃描技術(Intelligent Scanning Technology, U.S. Patent 7,330,307)
產品規格
SPECIFICATIONS >> PRIOR H105F| 零件編號 Part Number |
H105N2F | H105E2F |
|---|---|---|
| 移動行程 Travel Range |
154 x 154 mm | |
| 單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability |
± 0.7 µm | |
| 線性精度 Metric Accuracy |
0.15 µm/mm | |
| 解析度 Resolution |
0.04 µm | |
| 垂直度 Squareness |
< 70 arcsec | |
| 建議移動速度 Recommended Speed |
24 mm/s | |
| 編碼器 Encoders |
N/A | YES |
| 馬達類別 Motor Type |
200 step | |
| 螺距 Screw Pitch |
2 mm | |
| 重量 Weight |
5 kg | |
- 規格如上表所示，詳細資訊請參閱規格說明書
產品尺寸
DIMENSIONS >> PRIOR H105F
產品資源
RESOURCE >> PRIOR H105F
VAT Number：28376870
Contact us： service@totalsmart.com.tw
Business Address：Rm7, 10FL, No.262, Sec. 2, Henan Rd., Xitun Dist., Taichung City 40744, Taiwan (R.O.C.)
Monday – Friday
8:30 am – 5:30 pm CST
MAP： 
Social Media： 
TEL：+886-4-27080265 ∣ FAX：+886-4-27080263
Taipai OfficeTEL：+886-2-89924292 ∣ FAX：+886-2-89929426
Websitehttps://www.totalsmart.tw (繁體 ∣ 简体 ∣ English)
https://www.totalsmart.com.tw (繁體)
https://www.totalsmart.com.cn (简体)
Image Analysis System
Image Measurement Software
Image Capture System
Optical Measuring Equipment
Microscope Camera Support
Microscope Automation Integration
Optical Microscope
Micrometer and Reticule Eyepiece
System Integration and Solutions
Copyright © 2025 Total-Smart Technology Co., Ltd. All Rights Reserved. | Privacy Policy | Terms of Use |