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ProScan H105 電動平台 (6" Wafer)
產品介紹
INTRODUCTION >> PRIOR H105
H105電動平台為ProScan® 高精度電動平台系列產品的家族成員，適用於正立顯微鏡光學系統的觀察與座標定位需求，此外H105電動載台擁有較大的移動行程和定位精度並提供各種可置換的樣品置具
可滿足半導體晶圓(Semi-Conductor Wafer)、光罩(Photo Mask)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品對於晶圓定位(Wafer Mapping)、目視檢查(Visual Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階的半導體材料科學應用。
通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> PRIOR H105- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 單向重複性精度(Uni Directional Repeatability)可達 ±0.7µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 可選配線性光學尺(Linear Encoders)
- 移動行程範圍為 154 mm x 154 mm
- 俱備防間隙誤差機制(Anti-backlash mechanism)和可調式限位開關(adjustable limit switches)
- 通用的樣品夾置具(Sample Holder)，有多種樣式可選擇
- 專利智慧掃描技術(Intelligent Scanning Technology, U.S. Patent 7,330,307)
產品規格
SPECIFICATIONS >> PRIOR H105| 零件編號 Part Number |
H105/2 | HE05/2 |
|---|---|---|
| 移動行程 Travel Range |
154 x 154 mm | |
| 單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability |
< 1.0 µm | < 0.9 µm |
| 雙向重覆性精度 Bidirectional Repeatability |
<3.3 µm | <1.1 µm |
| 線性精度 Metric Accuracy |
0.13 µm/mm | 0.09 µm/mm |
| 全行程線性精度 Full Travel Metric Accuracy |
<19.3 µm | <16.8 µm |
| 解析度 Resolution |
0.04 µm | 0.1 µm |
| 垂直度 Squareness |
< 50 arcsec | < 40 arcsec |
| 最大移動速度 Maximum Velocity |
60 mm/s | |
| 最大荷重 Maximum Load |
10 kg | |
| 編碼器 Encoders |
N/A | 0.1 µm res |
| 馬達類別 Motor Type |
200 step | |
| 螺距 Screw Pitch |
2 mm | |
| 重量 Weight |
5 kg | |
- 規格如上表所示，詳細資訊請參閱規格說明書
產品尺寸
DIMENSIONS >> PRIOR H105
產品資源
RESOURCE >> PRIOR H105
VAT Number：28376870
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