 |
產品服務專線：04-27080265 |
ProScan Motorized Stage System for Semiconductor Microscope | Prior Scientific
H112 半導體顯微鏡專用電動平台
XY Axis Large Format Motorized Wafer Stage For High Precision Microscope Automation
|
|
 |
- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 可選配0.1µm高精度線性光學尺(Linear Scales)
- 移動行程範圍為 302 mm x 302 mm (12" x 12")
- 各式晶圓專用置具(Wafer Holder)供您選用
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
|
|
H112 產品說明
|
|
H112顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料如晶圓(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面顯示器(FPD, Flat Panel Displays)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品的定位(Mapping)、檢查(Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階半導體材料的座標跑位、定位與掃瞄應用。
此外，H112顯微鏡電動平台可輕鬆滿足12英寸（300毫米）晶圓的移動行程需求，並可進一步整合機器人手臂(Robot Arm)與晶圓裝載機(Wafer Loaders)達成晶圓自動化取放片的工作目標，對於某些較特殊玻璃基板或NIR檢查需要使用底部(透射)光路進行穿透光檢查的光學檢測應用，晶圓專用的電動載台在中間區域提供了250 mm x 250 mm透射光開口區域，可滿足光學檢查上透射光應用需求。
通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。
|
H112 產品規格
|
| Performance 註1 |
H112/2 |
HE12/2 |
單向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 註2
in µm |
± 0.7 |
± 0.7 |
最小寸動精度 Minimum Step Size
in µm |
0.04 |
0.01 |
| 建議速度 Suggested Speed (mm/s) |
40 |
40 |
| 最大行程範圍 Maximum Travel Range (mm) |
302 x 302 |
302 x 302 |
| 最大載重 Load Capacity (Kg) |
25 |
25 |
| 載台重量 Weight (Kg) |
14.5 |
14.5 |
| 滾珠螺桿螺距 Ball Screw Pitch (mm) |
2 |
2 |
| Motor Type SPR 註5 |
200 |
200 |
| Encoder |
NO |
YES 註6 |
|
備註：
- Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
- Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
- Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
- Can be increased by a factor of 2.
- Steps Per Revolution of Motor.
- 0.1 µm res encoding provided.
|
|
H112 產品尺寸
|
|
|
H112 產品資源
|
|
|
