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產品服務專線:04-27080265 |
ProScan Motorized Stage System for Semiconductor Microscope | Prior Scientific
HWL6AL12 半導體顯微鏡專用電動平台
XY Axis Large Format Motorized Wafer Stage with Wafer Shuttle For Olympus Wafer Handling Systems
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- 移動行程範圍為 250 mm x 210 mm
- 解析精度(Resolution)為 0.04 µm
- 重複性(Repeatability)為 ±0.2μm
- 整合晶圓自動加/卸載系統 (Wafer Load & Unload)
- 相容於 ProScan III系統,以及Olympus AL-120晶圓裝卸系統(wafer Handling Systems)
- 控制器支援RS-232和USB連線,相容大多數第三方軟體
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
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產品說明 |
Prior HWL6AL12 電動平台提供Wafer Shuttle行程控制,採電動穿梭式(Motorised Shuttle)設計,用於整合Olympus AL-120晶圓裝卸系統(Wafer Handler System)進行晶圓檢測應用,可大幅減少操作員的連續操作疲勞和可能造成的定位誤差,同時提高了晶圓檢查的效率。
HWL6AL12 電動載台在與Wafer Loader進行自動加載和卸載晶圓(Loads and Unloads Wafers)的操作時,Wafer Shuttle會自動移動到正確的晶圓裝載位置並觸發裝載器(Loader)開關,同時通知裝載器在Shuttle上的Wafer Chuck已經到達指定位置並準備好接收晶圓,待晶圓從Wafer Loader轉移到Wafer Shuttle後,Wafer Chuck上的真空感應器會確認晶圓是否已放置妥當,確認沒問題後Shuttle會立即移動到預設原點位置,等待下一步的控制指令。
電動平台允許使用者以搖桿直接控制載台移動進行手動檢查操作,或者使用程式控制的模式進行全自動檢查,HWL6AL12電動平台擁有較大的行程範圍,再加上準確的重複精度和定位精度,搭配 Prior 的 ProScan®III系統使用,更可確保載台的精度、準度都達到最小誤差,最終實現更有效的晶圓檢測流程。
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產品規格 |
Performance 註1 |
HWL6AL12 |
雙向重覆性精度 Bi Directional Repeatability 註2 in µm |
± 1.3 |
單向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 註2 in µm |
± 0.2 |
最小寸動精度 Minimum Step Size in µm |
0.04 |
建議速度 Suggested Speed (mm/s) |
40
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最大行程範圍 Maximum Travel Range (mm) |
250 x 210 |
載台重量 Weight (Kg) |
9 |
滾珠螺桿螺距 Ball Screw Pitch (mm) |
2 |
Motor Type SPR 註5 |
200 |
Encoder |
NO |
備註:
- Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
- Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
- Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
- Can be increased by a factor of 2.
- Steps Per Revolution of Motor.
- 0.1 µm res encoding provided.
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產品尺寸 |
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產品資源 |
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