Prior Scientific Instruments Ltd.
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H105 显微镜电动平台
ProScan System With Large Format Motorized Scanning Stage for Upright Microscopes

Prior H105 Motorized Stage for Upright Microscopes
  • 适用于大多数知名的显微镜厂牌
  • 解析精度小于 1 µm
  • 单向重复性精度(Uni Directional Repeatability)可达 ±0.7µm
  • 控制器支援RS-232和USB连线,相容大多数第三方软体
  • 可选配线性光学尺(Linear Encoders)
  • 移动行程范围为 154 mm x 154 mm
  • 俱备防间隙误差机制(Anti-backlash mechanism)和可调式限位开关(adjustable limit switches)
  • 通用的样品夹置具(Sample Holder),有多种样式可选择
  • 专利智慧扫描技术(Intelligent Scanning Technology, U.S. Patent 7,330,307)

Prior电动台系列产品可提供最长五年的原厂保固 (请来电洽询)

产品说明

H105电动平台为ProScan®高精度电动平台系列产品的家族成员,适用于正立显微镜(Upright Microscopes)光学系统的观察与座标定位需求,此外H105电动载台拥有较大的移动行程和定位精度并提供各种可置换的样品置具,可满足半导体晶圆(Semi-Conductor Wafer)、光罩(Photo Mask)与印刷电路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型样品对于晶圆定位(Wafer Mapping)、目视检查(Visual Inspection)与瑕疪检测(Defect Detection)等高阶的半导体材料科学应用。

通过将电动平台整合到ProScan™系统中,使用者可以获得功能强大、精确和多功能的显微镜自动化控制系统,该系统还以可将各种不同的显微镜、影像分析软体或其他显微镜周边电控配件进行整合。

产品规格
Performance 注1 H105/2 HE05/2
单向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 注2
in µm
± 0.7 ± 0.7
最小寸动精度 Minimum Step Size
in µm
0.04 0.04
建议移动速度 Recommended Speed 注4
(Maximum speed) in mm per seconds
24
24
公制精度 Metric Accuracy 注3
per mm of travel
0.15
0.15
最大行程范围 Maximum Travel Range
in mm
154 x 154 154 x 154
垂直度 Squareness in arc sec 70 70
滚珠螺杆螺距 Ball Screw Pitch 2 2
Motor Type SPR 注5 200 200
Encoder NO YES 注6

备注:

  1. Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
  2. Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
  3. Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
  4. Can be increased by a factor of 2.
  5. Steps Per Revolution of Motor.
  6. 0.1 µm res encoding provided.
产品尺寸
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