壓電物鏡定位器/掃描儀 | 高精度奈米定位技術
NanoScan OP400 壓電式物鏡對焦部件
高精度與快速穩定的物鏡定位解決方案
產品介紹
INTRODUCTION>> NanoScan OP400
NanoScan OP400 奈米定位壓電物鏡掃描器 提供最快的步進和穩定時間,適用於各類顯微鏡應用。
此設備採用電容回饋感測器,提供市場領先的定位精度與解析度。
系統相容於大多數顯微鏡與物鏡,提供最佳化的可配置設定,滿足不同物鏡尺寸、重量及性能需求。
應用領域:生命科學、材料科學、微納米製造等。
可無縫整合至OEM系統,提供靈活的客製化解決方案。
更多產品資訊請洽 04-27080265 (來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> NanoScan OP400
- 400μm閉迴路行程範圍(450μm開迴路範圍)
- 電容式定位感測器提供亞奈米級定位解析度和可重複性
- 不銹鋼製造,具有更高機械剛度與溫度穩定性
- 高剛性無摩擦撓曲設計,提供更高重複性與更快循環時間
- 支援直立和倒置顯微鏡應用
- 內建級校準功能的連接器,支援即插即用電子設備
- 快速穩定,即使負載大也能保持高效性能
- 耐用設計,經測試可運行超過 1000 萬次全範圍循環
應用領域
APPLICATIONS >> NanoScan OP400
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光學切片產生 3D 影像
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用於延時成像的自動對焦系統
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高內涵篩選
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表面分析
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晶圓偵測
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掃描干涉測量
技術規格
SPECIFICATIONS >> NanoScan OP400
參數 | OP400 | OP400 (high load) |
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軸向 | Z | Z |
行程範圍 | 400 μm | 400 μm |
定位雜訊 | 0.7 nm | 0.7 nm |
重複性 | 1.6 nm | 1.6 nm |
線性度 | 0.005% | 0.005% |
步進穩定時間 | 7 ms | 7 ms |
材料 | 鋁/不銹鋼 | 鋁/不銹鋼 |
螺紋尺寸 | RMS, M25, W26, M27, M32 | RMS, M25, W26, M27, M32 |
負載 | 0-500 g | 500-1000 g |