Precision Actuators & Translators | Queensgate
NPS-Z-500B
Queensgate’s piezo flexure actuators generate small, precise movements very quickly and with high repeatability.
產品介紹
INTRODUCTION >> NPS-Z-500B
NPS-Z-500B-UHV 長行程 500 微米放大致動器,專為超高真空 (UHV) 環境設計,並可在80K 低溫條件下實現超過 100μm 閉迴路行程。
該平台採用電容式位置感測器(Capacitive Positioning Sensors) 進行閉迴路控制,確保卓越的解析度、可重複性、剛性與穩定性。
先進的彈性導引設計(Flexure Design) 使該裝置具備極高的線性度,並能顯著降低離軸誤差(Off-Axis Errors),確保運動純度。
此外,該平台具備高共振頻率(High Resonant Frequency),進一步提升其動態表現與長時間穩定性,確保高精密運動需求的極致表現。
建議控制器: NPC-D-6110
Prior 電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> NPS-Z-500B- 100μm 閉迴路位移,適用於 80K 超高真空(UHV)環境
- 高平行度運動,具最小離軸偏差
- 位置雜訊小於 1nm,線性誤差 0.01%,殘餘遲滯 0.02%
- 可客製化封裝,提供真空與低溫版本
產品規格
SPECIFICATIONS >>NPS-Z-500B
Model | NPS-Z-500B | NPS-Z-500B-UHV |
---|---|---|
Axis | Z | Z |
Range | 550um | 550um |
Position noise | 1nm | 1nm |
Repeatability | ||
Linearity | 0.02% | 0.02% |
Step Settle | 15ms | 15ms |
Material | Aluminum/ Titanium | Aluminum/ Titanium |
Size (L x W x H) | 60mm x 49.5mm x 30mm | 60mm x 49.5mm x 30mm |