NanoScan SP200 / SP400 / SP600 / SP800

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產品介紹

INTRODUCTION >> PRIOR H116

ProScan H116顯微鏡電動平台適用於各種半導體材料如晶圓(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面顯示器(FPD, Flat Panel Displays)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品的定位(Mapping)、檢查(Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階半導體材料的座標跑位、定位與掃瞄應用。

此外，H116顯微鏡電動平台可輕鬆滿足12英寸（300毫米）晶圓的移動行程需求，並可進一步整合機器人手臂(Robot Arm)與晶圓裝載機(Wafer Loaders)達成晶圓自動化取放片的工作目標。

通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。

Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)

產品特色

FEATURES>> NanoScan SP Z 系列

移動範圍選擇從 200 μm 到 800 μm
提供市場領先的電容式定位感測器解析度
Step settle times小於 10 毫秒
可承載負載高達 500g（可依需求提供更高負載）
內建階段校準的連接器，提供即插即用的電子設備，可互換使用，最大限度減少系統停機時間
使用者可配置設定，以優化不同樣本質量、尺寸及性能需求。使用者只需選擇最適合其應用的設定
測試證明可運行超過 1000 萬次全範圍循環

技術規格

SPECIFICATIONS >> NanoScan SP Z 系列

產品代碼	SP200	SP400	SP600	SP800
軸向	Z	Z	Z	Z
範圍	200 µm	400 µm	600 µm	800 µm
位置噪音	0.7 nm	0.7 nm	0.7 nm	1.23 nm
重複性	3 nm	3 nm	3 nm	3 nm
線性度	0.2%	0.2%	0.2%	0.2%
一步解決	8 ms	8 ms	9 ms	10 ms
材料	鋁/不銹鋼	鋁/不銹鋼	鋁/不銹鋼	鋁/不銹鋼
尺寸（長 x 寬 x 高）	260×164×13.7 mm	260×164×13.7 mm	260×164×13.7 mm	260×164×13.7 mm