ProScan Motorized Stage System for Upright Microscope | Prior Scientific
H101A 顯微鏡電動平台 | 電動載物台 4-inch Wafer
XY Axis Motorized Stepper Stage For High Precision Microscope Automation
產品介紹
INTRODUCTION >> PRIOR H101A
Prior ProScan™系列的 H101A 顯微鏡電動載物平台可安裝於各式正立顯微鏡或光學系統,高精度的定位精度,支持自動掃描並儲存座標點,提升實驗效率。
此平台適用於玻片、微量滴定盤、半導體晶圓或金相樣品,可進行弓字形、之字形或隨機掃描。
H101A電動平台配備專利的智慧掃描技術(IST),確保出廠前進行精度校驗和運作測試,確保最佳性能和精度。
智慧掃描技術(IST)可調整參數,確保X軸和Y軸的直角度和精確度。(此技術同樣適用於H107和H117倒立顯微鏡的電動平台型號)
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
產品特色
FEATURES >> PRIOR H101A- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
 - 解析精度小於 1 µm
 - 單向重複性精度(Uni Directional Repeatability)可達 ±0.7µm
 - 控制器支援RS-232和USB連線,相容大多數第三方軟體
 - 可選配線性光學尺(Linear Encoders)
 - 可選用馬達類型(Motor Type)和高精度滾珠螺桿(Ball Screw)
 - 移動行程範圍為 114 mm x 75 mm
 - 俱備防間隙誤差機制(Anti-backlash mechanism)和可調式限位開關(adjustable limit switches)
 - 通用的樣品夾置具(Sample Holder),有多種樣式可選擇
 - 專利智慧掃描技術(Intelligent Scanning Technology, U.S. Patent 7,330,307)
 
產品規格
SPECIFICATIONS >> PRIOR H101A| 零件編號 Part Number  | 
H101A | HE01A | H1P1A | HEP1A | H1P4A | HEP4A | 
|---|---|---|---|---|---|---|
| 移動行程 Travel Range  | 
114 mm x 75 mm | |||||
| 單向重覆性精度 Unidirectional Repeatability  | 
< 0.6 μm | - | ||||
| 雙向重覆性精度 Bidirectional Repeatability  | 
< 2.9 μm | < 1.0 μm | - | |||
| XY重複性精度 XY Repeatability  | 
- | 0.7 µm | ||||
| 線性精度 Metric Accuracy  | 
0.12 μm/mm | 0.11 μm/mm | - | |||
| 全行程線性精度 Full Travel Metric Accuracy  | 
<12.0 µm | <9.0 µm | - | |||
| 解析度 Resolution  | 
0.04 µm | 0.1 µm | 0.01 µm | |||
| 垂直度 Squareness  | 
< 30 arcsec | |||||
| 最大移動速度 Maximum Velocity  | 
60 mm/s | - | ||||
| 最大荷重 Maximum Load  | 
10 kg | |||||
| 編碼器 Encoders  | 
N/A | 0.1 µm res | N/A | 0.1 µm res | N/A | 0.1 µm res | 
| 馬達類別 Motor Type  | 
200 step | 400 step | ||||
| 螺距 Screw Pitch  | 
2 mm | 1 mm | ||||
| 重量 Weight  | 
3.5 kg | |||||
- 規格如上表所示,詳細資訊請參閱規格說明書
 
產品尺寸
DIMENSIONS >> PRIOR H101A
      
      
                                                            
                                                            