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ProScan Motorized Stage System for Semiconductor Microscope | Prior Scientific

H112 半导体显微镜专用电动载物台

XY Axis Large Format Motorized Wafer Stage For High Precision Microscope Automation

  • 适用于大多数知名的显微镜厂牌
  • 解析精度小于 1 µm
  • 控制器支援RS-232和USB连线,相容大多数第三方软体
  • 可选配0.1µm高精度线性光学尺(Linear Scales)
  • 移动行程范围为 302 mm x 302 mm (12" x 12")
  • 各式晶圆专用置具(Wafer Holder)供您选用

Prior电动台系列产品可提供最长五年的原厂保固 (请来电洽询)

产品说明

H112显微镜电动平台适用于各种半导体材料如晶圆(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面显示器(FPD, Flat Panel Displays)与印刷电路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型样品的定位(Mapping)、检查(Inspection)与瑕疪检测(Defect Detection)等高阶半导体材料的座标跑位、定位与扫瞄应用。

此外,H112显微镜电动平台可轻松满足12英寸(300毫米)晶圆的移动行程需求,并可进一步整合机器人手臂(Robot Arm)与晶圆装载机(Wafer Loaders)达成晶圆自动化取放片的工作目标,对于某些较特殊玻璃基板或NIR检查需要使用底部(透射)光路进行穿透光检查的光学检测应用,晶圆专用的电动载台在中间区域提供了250 mm x 250 mm透射光开口区域,可满足光学检查上透射光应用需求。

通过将电动平台整合到ProScan™系统中,使用者可以获得功能强大、精确和多功能的显微镜自动化控制系统,该系统还以可将各种不同的显微镜、影像分析软体或其他显微镜周边电控配件进行整合。

产品规格
Performance 注1 H112/2 HE12/2
单向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 注2
in µm
± 0.7 ± 0.7
最小寸动精度 Minimum Step Size
in µm
0.04 0.01
建议速度 Suggested Speed (mm/s)  40
40
最大行程范围 Maximum Travel Range (mm) 302 x 302 302 x 302
最大载重 Load Capacity (Kg) 25 25
载台重量 Weight (Kg) 14.5 14.5
滚珠螺杆螺距 Ball Screw Pitch (mm) 2 2
Motor Type SPR 注5 200 200
Encoder NO YES 注6

备注:

  1. Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
  2. Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
  3. Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
  4. Can be increased by a factor of 2.
  5. Steps Per Revolution of Motor.
  6. 0.1 µm res encoding provided.
产品尺寸
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