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ProScan Motorized Stage System for Semiconductor Microscope | Prior Scientific
H112 半导体显微镜专用电动载物台
XY Axis Large Format Motorized Wafer Stage For High Precision Microscope Automation
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- 适用于大多数知名的显微镜厂牌
- 解析精度小于 1 µm
- 控制器支援RS-232和USB连线，相容大多数第三方软体
- 可选配0.1µm高精度线性光学尺(Linear Scales)
- 移动行程范围为 302 mm x 302 mm (12" x 12")
- 各式晶圆专用置具(Wafer Holder)供您选用
Prior电动台系列产品可提供最长五年的原厂保固 (请来电洽询)
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| 产品说明 |
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H112显微镜电动平台适用于各种半导体材料如晶圆(Wafer)、光罩(Photo Mask)、平面显示器(FPD, Flat Panel Displays)与印刷电路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型样品的定位(Mapping)、检查(Inspection)与瑕疪检测(Defect Detection)等高阶半导体材料的座标跑位、定位与扫瞄应用。
此外，H112显微镜电动平台可轻松满足12英寸（300毫米）晶圆的移动行程需求，并可进一步整合机器人手臂(Robot Arm)与晶圆装载机(Wafer Loaders)达成晶圆自动化取放片的工作目标，对于某些较特殊玻璃基板或NIR检查需要使用底部(透射)光路进行穿透光检查的光学检测应用，晶圆专用的电动载台在中间区域提供了250 mm x 250 mm透射光开口区域，可满足光学检查上透射光应用需求。
通过将电动平台整合到ProScan™系统中，使用者可以获得功能强大、精确和多功能的显微镜自动化控制系统，该系统还以可将各种不同的显微镜、影像分析软体或其他显微镜周边电控配件进行整合。
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| 产品规格 |
| Performance 注1 |
H112/2 |
HE12/2 |
单向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 注2
in µm |
± 0.7 |
± 0.7 |
最小寸动精度 Minimum Step Size
in µm |
0.04 |
0.01 |
| 建议速度 Suggested Speed (mm/s) |
40
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40
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| 最大行程范围 Maximum Travel Range (mm) |
302 x 302 |
302 x 302 |
| 最大载重 Load Capacity (Kg) |
25 |
25 |
| 载台重量 Weight (Kg) |
14.5 |
14.5 |
| 滚珠螺杆螺距 Ball Screw Pitch (mm) |
2 |
2 |
| Motor Type SPR 注5 |
200 |
200 |
| Encoder |
NO |
YES 注6 |
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备注：
- Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
- Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
- Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
- Can be increased by a factor of 2.
- Steps Per Revolution of Motor.
- 0.1 µm res encoding provided.
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| 产品尺寸 |
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| 产品资源 |
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