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ProScan Motorized Stage System for Upright Microscope | Prior Scientific
H105F 顯微鏡電動平台
XY Axis Large Format Flat Top Motorized Scanning Stage For High Precision Microscope Automation
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- 適用於大多數知名的顯微鏡廠牌
- 解析精度小於 1 µm
- 單向重複性精度(Uni Directional Repeatability)可達 ±0.7µm
- 控制器支援RS-232和USB連線，相容大多數第三方軟體
- 移動行程範圍為 154 mm x 154 mm
- 俱備防間隙誤差機制(Anti-backlash mechanism)和可調式限位開關(adjustable limit switches)
- 通用的樣品夾置具(Sample Holder)，有多種樣式可選擇
- 專利智慧掃描技術(Intelligent Scanning Technology, U.S. Patent 7,330,307)
Prior電動台系列產品可提供最長五年的原廠保固 (請來電洽詢)
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H105F 產品說明
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H105F電動平台採平頂式(Flat Top)設計為ProScan®高精度電動平台系列產品的家族成員，適用於正立顯微鏡(Upright Microscopes)光學系統的觀察與座標定位需求，此外H105F電動載台擁有較大的移動行程和定位精度並提供各種可置換的樣品置具，可滿足半導體晶圓(Semi-Conductor Wafer)、光罩(Photo Mask)與印刷電路板(PCB, Printed Circuit Board)等大型樣品對於晶圓定位(Wafer Mapping)、目視檢查(Visual Inspection)與瑕疪檢測(Defect Detection)等高階的半導體材料科學應用。
平頂式的電動平台擴大了載台上方的使用空間並減少光學組件設置的阻礙，輕鬆整合高N/A值物鏡(Objective)或聚光鏡(Condenser)等光學組件進行高倍率的顯微觀察，讓顯微鏡上的鼻輪組可以輕鬆的360度旋轉切換觀察物鏡並且避免碰撞的危險，安全的切換觀察物鏡和調整顯微鏡對焦高度，提供顯微鏡自動化整合更精確和便捷的強大組合利器。
通過將電動平台整合到ProScan™系統中，使用者可以獲得功能強大、精確和多功能的顯微鏡自動化控制系統，該系統還以可將各種不同的顯微鏡、影像分析軟體或其他顯微鏡周邊電控配件進行整合。
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H105F 產品規格
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| Performance 註1 |
H105N2 |
單向重覆性精度 Uni Directional Repeatability 註2
in µm |
± 0.7 |
最小寸動精度 Minimum Step Size
in µm |
0.04 |
建議移動速度 Recommended Speed 註4
in mm per seconds |
24 |
公制精度 Metric Accuracy 註3
per mm of travel |
0.15 |
最大行程範圍 Maximum Travel Range
in mm |
154 x 154 |
| 滾珠螺桿螺距 Ball Screw Pitch |
2 |
| Motor Type SPR |
200 |
| Encoder |
NO |
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備註：
- Specifications are based on the Prior method of testing and require the use of a ProScan II or above controller.
- Using a ProScan controller with backlash correction enabled.
- Measured over the full travel of the stage with IST enabled.
- Can be increased by a factor of 2.
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H105F 產品尺寸
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H105F 產品資源
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