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Queensgate 的纳米定位与纳米传感产品均提供 真空版本，大多数作为 标准产品 提供。如现有产品无法满足您的需求，我们也可提供 定制设计 与 产品变体。

这些真空产品广泛应用于 同步辐射、扫描电子显微镜（SEM） 和 航空航天。对于 超高真空（UHV） 应用，材料选择与预处理极为关键。设计时必须确保产品能在真空中稳定工作，并可能需耐受 极低温 或 辐射环境。

正确的 材料选择（如 耐辐射组件）及 精确制造与预处理 是关键步骤。使用 超声波清洗 可有效去除零件表面的 油脂 和 碳残留，并建议在使用前进行 烘烤（Bake-out） 以去除溶剂。

传感器
NX NanoSensor® UHV 型号适用于 超高精度的纳米定位，如 硬盘检测、干涉测量、镜子定位 与 高分辨率显微。
NC NanoSensor® 为适用于 10^-10 Torr 真空环境的 高分辨率电容传感器，其 陶瓷-金属结构 不含胶黏剂，可支持 高温烘烤，适用于 高辐射环境。

闭环致动器
DPT-E-UHV 系列配备 电容反馈控制，可提供高精度定位。其 热稳定性高，采用 Super Invar 结构，兼容 10^-9 Torr 的真空环境。

平台
Queensgate 提供 真空兼容 的 柔性导引压电平台，使用 Kapton 导线，可实现 光学组件的亚纳米级定位。若您在高真空中需要纳米定位解决方案，请 联系我们。

DPT-E
Closed Loop Piezo Actuators

MTP
Open Loop Preloaded Piezo Actuator

NanoSensors
NC Series Capacitive Sensors

NanoSensors
NX Series Capacitive Sensors

NPS-XY-100A
Super Invar Two Axis 100µm x 100µm Stage

NPS-XY-100D
Aluminum Two Axis 100µm x 100µm Stage

NPS-Z-500B
Long Range 500 Micron Amplified Actuator

WP120A
Wafer Positioner / Scanner